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    • 专利摘要:
    本發明提供一種排氣裝置，包含一第一廢氣管、一第二廢氣管、一第一密閉室、一第二密閉室、一抽氣管以及一馬達。第一廢氣管連接至第一密閉室。第二廢氣管連接至第二密閉室。抽氣管貫穿第一密閉室以及第二密閉室，並連接至一廢氣來源。在抽氣管上具有一第一內開口以及一第二內開口。馬達連接抽氣管並可驅動抽氣管轉動，使得廢氣來源所產生之氣體可通過第一開口進入第一密閉室，或通過第二開口進入第二密閉室。
    公开号:TW201307671A
    申请号:TW100128213
    申请日:2011-08-08
    公开日:2013-02-16
    发明作者:Ching-Kuo Kao
    申请人:Inotera Memories Inc；
    IPC主号:F01N3-00
    专利说明:
    排氣裝置
    本發明係關於一種排氣裝置，特別是一種能分別排放不同氣體至不同廢氣管的排氣裝置。
    真空排氣裝置已經廣泛的應用於各種半導體機台中，藉以排除半導體製程時所產生之廢氣。通常半導體機台會產生各種不同的廢氣，有些必須分別地加以處理或者回收。因此，需要一種能分門別類排放不同氣體至不同廢氣管的排氣裝置。
    請參考第1圖，所繪示為習知排氣裝置的示意圖。習知的抽氣裝置100包含有一第一密閉室102、一第二密閉室104以及一第三密閉室106。第一密閉室102會連接至一廢氣來源126。第一密閉室102和第二密閉室104之間具有一開口118，第一密閉室102和第三密閉室106之間具有一開口120。第二密閉室104會連接至一第一廢氣管108，且第三密閉室106會連接至一第二廢氣管110以及一第三廢氣管112。第一密閉室102中會具有一轉閥114，可擇一關閉開口118或開口120，第三密閉室106中會具有一轉閥116，可擇一關閉第二廢氣管110或第三廢氣管112。當廢氣來源126提供一廢氣時，轉閥114與轉閥116可以擋住適當的開口以及廢氣管，使得廢氣可以被吸入適當的廢氣管。
    然而，習知的抽氣裝置100雖然可以選擇性的排放不同氣體至不同排氣管，然而由於設計上的不良，轉閥114與轉閥116在經過數次的轉動後容易造成損壞，且若有數種的廢氣需要分類排放時，需要設計相當多個密閉室以及轉閥，佔據許多體積。
    本發明於是提供一種排氣裝置，不僅可以分類地排放不同氣體至不同排氣管，且佔據體積較小，也不容易故障。
    根據一實施例，本發明提供一種排氣裝置，包含一第一廢氣管、一第二廢氣管、一第一密閉室、一第二密閉室、一抽氣管以及一馬達。第一廢氣管連接至第一密閉室。第二廢氣管連接至第二密閉室。抽氣管貫穿第一密閉室以及第二密閉室，並連接至一廢氣來源。在抽氣管上具有一第一內開口以及一第二內開口。馬達連接抽氣管並可驅動抽氣管轉動，使得廢氣來源所產生之氣體可通過第一開口進入第一密閉室，或通過第二開口進入第二密閉室。
    本發明提供的排氣裝置，具有特殊的抽氣管裝置以及位於其上的開口，藉由馬達即可分類地排放不同氣體至不同廢氣管，不僅佔據體積較小，也不容易故障。
    為使熟習本發明所屬技術領域之一般技藝者能更進一步了解本發明，下文特列舉本發明之數個較佳實施例，並配合所附圖式，詳細說明本發明的構成內容及所欲達成之功效。
    請參考第2圖，所繪示為本發明第一實施例的排氣裝置的示意圖。如第2圖所示，本發明的排氣裝置300包含一第一密閉室(closed box)302、一第二密閉室304以及一第三密閉室306，三個密閉室可以直接相鄰也可以不直接相鄰，較佳者三個密閉室會沿著一第一方向301排列。於本發明中，第一密閉室302連接至一第一廢氣管(exhaust tube)308，第二密閉室304連接至一第二廢棄管310，一第三密閉室306連接至一第三廢氣管312。三個廢氣管可分別提供抽氣之吸力至所連接的密閉室中，以將密閉室中的氣體抽出。於本發明之一實施例中，第一廢氣管308，第二廢棄管310以及第三廢氣管312的另一端分別連接至不同的廢氣回收裝置，舉例來說，第一廢氣管308可連接至一鹼性廢氣(alkali exhaust)回收裝置，處理例如氨水(NH4OH)等鹼性氣體；第二廢氣管310可連接至一有機廢氣(organic exhaust)回收裝置，處理例如異丙醇(IPA)、丙酮(Acetone)或單甲基醚丙二醇(PGME)等有機氣體；第三廢氣管312可連接至一酸性廢氣(acid exhaust)回收裝置，處理例如鹽酸(HCl)、硫酸(H3PO4)等酸性氣體，但第一廢氣管308，第二廢棄管310以及第三廢氣管312所排放的氣體並不以此為限，例如第一廢氣管308可以排放有機廢氣，第二廢氣管310可以排放酸性廢氣，第三廢氣管312可以排放鹼性廢氣。但考量到酸性廢氣與鹼性廢氣最好不要相鄰，較佳者排放酸性廢氣的廢氣管和排放鹼性的廢氣管中間可以間隔其他的廢氣管。
    本發明的排氣裝置300其中一個特點在於具有一抽氣管(pipe)317，貫穿了第一密閉室302、第二密閉室304以及第三密閉室306。抽氣管317之一端連接至一廢氣來源326，例如是一半導體機台反應室，另外一端連接至一馬達328。抽氣管317包含一外管314以及一內管316。外管314具有一外開口318，其為狹長型的開口並且延伸並暴露第一密閉室302、第二密閉室304以及第三密閉室306。內管316設置於外管314中，且具有一第一內開口320、第二內開口322、第三內開口324分別對應設置於第一密閉室302、第二密閉室304以及第三密閉室306。內管316之一端會連接至馬達328，馬達328可驅動內管316沿著第一方向301旋轉，使得第一內開口320、第二內開口322、第三內開口324中僅有一者會對準外開口318。
    請參考第3圖，所繪示為本發明抽氣管的剖面示意圖，其為沿著第2圖中的剖面A所繪製。如第3圖所示，第一內開口320、第二內開口322、第三內開口324從第一方向301上看過去，並不會彼此重疊，而是分布在內管316之不同角度上。如第3圖所示，並一併參考第2圖，當廢氣來源326產生廢氣時，例如產生有機廢氣時，一控制元件330會下達指令給馬達328，使得馬達328轉動抽氣管317之內管316，而將內管316之第二內開口322對準外管316之外開口318，此時第一內開口320以及第三內開口324並不會對準外開口318。因此，廢氣來源326所產生的有機廢氣可經由第二內開口322與外開口318而進入第二密閉室304，最後再由第二廢氣管310排放。同樣的，若廢氣來源326產生酸性廢氣，馬達328會旋轉以將第三內開口324對準外開口318，使得酸性廢氣進入第三密閉室306以及第三廢氣管312排放。
    請參考第4圖，所繪示為本發明內開口的示意圖。第一內開口320、第二內開口322、第三內開口324之開口大小必須經過適當的設計以具有最佳的排氣效率。於本發明較佳實施例中，以第二內開口322為例子，其長度H大體上為100公釐(mm)至155公釐，較佳為130公釐，且其開口表面積大體約為15000平方公釐(mm2)至20000公釐(mm2)，較佳為17500(mm2)。第二內開口322與內管316圓心的夾角大體上為90度至110度，較佳者為100度。此外，第一廢氣管308、第二廢棄管310以及第三廢氣管312之抽氣壓力大約為-400帕，其抽氣速度大約為3.5平方公尺/分鐘。
    值得注意的是，本發明的排氣裝置300並不限於三個密閉室或一個抽氣管，而可以視產品需求而做調整。例如僅有兩個密閉室而可抽取兩種廢氣，或者，請參考第5圖，所繪示為本發明第二實施例中之排氣裝置示意圖。排氣裝置300還可以設置有另一抽氣管317a連接至另一廢氣來源326a，並貫穿第一密閉室302、第二密閉室304以及第三密閉室306。抽氣管317a的實施方式大體上和抽氣管317相同，在此不加以贅述。當廢氣來源326a產生廢氣時，同樣可經由抽氣管317a而排放至第一密閉室302、第二密閉室304或第三密閉室306中。本發明的抽氣裝置300可同時抽取廢氣來源326與廢氣來源326a所產生的不同廢氣，兩者可以互不干擾，大大增加了抽氣裝置的效率的實用性。
    綜上所述，本發明提供的排氣裝置，具有特殊的抽氣管裝置以及位於其上的開口，藉由馬達即可分類地排放不同氣體至不同廢氣管，不僅佔據體積較小，也不容易故障。
    以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。
    100．．．排氣裝置
    102．．．第一密閉室
    104．．．第二密閉室
    106．．．第三密閉室
    108．．．第一廢氣管
    110．．．第二廢氣管
    112．．．第三廢氣管
    114．．．轉閥
    116．．．轉閥
    118．．．開口
    120．．．開口
    126．．．廢氣來源
    300．．．排氣裝置
    302．．．第一密閉室
    304．．．第二密閉室
    306．．．第三密閉室
    308．．．第一廢氣管
    310．．．第二廢氣管
    312．．．第三廢氣管
    314．．．外管
    316．．．內管
    317．．．抽氣管
    317a．．．抽氣管
    318．．．外開口
    320．．．第一內開口
    322．．．第二內開口
    324．．．第三內開口
    326．．．廢氣來源
    326a．．．廢氣來源
    328．．．馬達
    330．．．控制元件
    330a．．．控制元件
    第1圖所繪示了習知抽氣裝置的示意圖。
    第2圖繪示了本發明第一實施例中之排氣裝置示意圖。
    第3圖繪示了本發明抽氣管的剖面示意圖。
    第4圖繪示了本發明內開口的示意圖。
    第5圖繪示了本發明第二實施例中之排氣裝置示意圖。
    300．．．排氣裝置
    302．．．第一密閉室
    304．．．第二密閉室
    306．．．第三密閉室
    308．．．第一廢氣管
    310．．．第二廢氣管
    312．．．第三廢氣管
    314．．．外管
    316．．．內管
    317．．．抽氣管
    318．．．外開口
    320．．．第一內開口
    322．．．第二內開口
    324．．．第三內開口
    326．．．廢氣來源
    328．．．馬達
    330．．．控制元件
    权利要求:
    Claims (10)
    [1] 一種排氣裝置(exhaust machine)，包含：一第一廢氣管(exhaust tube)連接至一第一密閉室(closed box)；一第二廢氣管連接至一第二密閉室；一抽氣管(pipe)貫穿該第一密閉室以及該第二密閉室，該抽氣管連接至一廢氣來源，並具有一第一內開口(opening)以及一第二內開口；以及一馬達(motor)連接該抽氣管，該馬達可驅動該抽氣管，使得該廢氣來源所產生之氣體可通過該第一開口進入該第一密閉室，或通過該第二開口進入該第二密閉室。
    [2] 如申請專利範圍第1項所述之排氣裝置，其中該抽氣管包含一內管以及一外管。
    [3] 如申請專利範圍第2項所述之排氣裝置，其中該馬達係驅動該抽氣管之該內管進行轉動。
    [4] 如申請專利範圍第2項所述之排氣裝置，其中該廢氣來源包含一半導體機台反應室。
    [5] 如申請專利範圍第2項所述之排氣裝置，其中該外管具有一外開口分別暴露該第一密閉室以及該第二密閉室。
    [6] 如申請專利範圍第5項所述之排氣裝置，其中該第一內開口以及該第二內開口設置於該內管。
    [7] 如申請專利範圍第6項所述之排氣裝置，其中該半導體機台反應室產生一第一氣體時，該第一開口對準該外開口，且該第一廢氣管提供一吸力。
    [8] 如申請專利範圍第7項所述之排氣裝置，其中該半導體機台反應室產生該第一氣體時，該第二開口不會對準該外開口。
    [9] 如申請專利範圍第6項所述之排氣裝置，其中該半導體機台反應室產生一第二氣體時，該第二開口對準該外開口，且該第二廢氣管提供一吸力。
    [10] 如申請專利範圍第9項所述之排氣裝置，其中該半導體機台反應室產生該第二氣體時，該第一開口不會對準該外開口。
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